MEMS傳感器應用在超聲振動波中的作用：

微機械傳感器是以微電子技術為基礎而發展起來的多學科交叉前沿。在40多年的發展過程中，它已成為世界關注的重要技術領域之一。該技術涉及電子、機械、材料、物理化學、生物、醫學等多個學科和技術，應用前景廣闊。醫學MEMS傳感器用于無創胎心檢測，其檢測胎兒心率的技術難度很大。因胎心率高，每分鐘120~160次，使用傳統的聽診器甚至僅有放大功能的超聲多普勒，人工計數難以精確。超聲多普勒胎心監護儀具有數字顯示功能，價格昂貴，只適用于少數大型醫院，在中小醫院及廣大農村地區不能普及。

此外，超聲對胎兒的作用，也會對胎兒產生很大的不利影響。試驗劑量雖低，但也屬于有損試驗，不適用于定期、重復檢查及家庭使用。以VTI公司MEMS加速度傳感器為基礎，提出了無創性胎心檢測方法，研制出介于胎心聽診器與多普勒胎兒監護儀之間，簡便、直觀、準確的胎心監測臨床診斷及孕婦自我檢查的醫學輔助儀器。通過加速度傳感器將胎兒心率轉換成模擬電壓信號，前置放大所用儀器放大器實現差分放大。再通過濾波等一系列中間信號處理，把模擬電壓信號通過A/D轉換成數字信號。

把光隔離器件輸入單片機進行分析處理，最后輸出處理結果。基于MEMS加速度傳感器設計的胎兒心率測試儀，經過適當改進，可以作為胎心遠程監測系統的終端。中心信號采集和分析監控主機在醫院端自動給出分析結果，醫生對診斷結果有疑問時，及時通知孕婦到醫院。此法便于孕婦隨時檢查胎兒情況，也有利于胎兒及孕婦的健康。

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