如今，人工智能的發展日新月異，應用領域也十分豐富，人們在生活、醫療等方面都可以看到人工智能技術的身影，例如神經檢測，可以使用meas壓力傳感器來檢測，理想的情況是，神經探針陣列應該具有良好的生物相容性，高密度電極具有高信噪比，通過柔性電纜實現互連，高度集成的電子構架，以及驅動電極柄實現神經元運動跟蹤的集合微執行器。

人腦通過它的神經元活動來協調我們的感覺，思想和行為。神經系統學家們正在努力理解大腦的功能，他們采用的方法可以在行為過程中分離、識別和操縱單神經元和單峰神經元。不僅在胞外記錄、腦機接口(BMI)和深部腦刺激劑(DBS)方面取得了成功，而且在腦電圖、神經元功能恢復和腦部疾病研究等方面的一些新的應用也取得了進展。

要想在大腦的許多區域中大規模地記錄單個神經元，神經探針需要高密度，大量的電極。令人遺憾的是，最新的高密度CMOS神經探針有一個巨大的“手柄”，該探針將被植入大腦區域。這一“手柄”部分必須盡可能細，以避免干擾或破壞正常的腦功能，目前，它們還沒有神經學家所期望的那么小。此外，現有的電子設計體系并不完善。該探頭由許多小型主動電極組成，用于放大和緩沖神經信號。CMOS像素放大器(PA)位于電極下極小的空間，信號處理必須在探針基座上完成，因為沒有足夠的空間。設想這種非理想信號路由中的噪聲問題，理想的情況是信號處理過程與PA相靠近。

光機meas壓力傳感器，我們從meas的壓力傳感器設計開始。本實用新型具有電容式和壓電式兩種結構，體積小，性能良好。另外，光纖傳感器具有超靈敏度高、噪聲小等特點，但在低集成度設計體系中使用效果最好。

目前，我們將上述兩種傳感器的特性結合在一起，形成一個集成的傳感器，即meas光機械壓力傳感器。這種器件可以提供比壓電和電容傳感器更高的靈敏度和良好的噪聲特性，但封裝尺寸是一樣的。

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